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パナソニック株式会社 解析センター > 材料分析 > ナノ構造可視化サービス
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透過電子顕微鏡（TEM）を用いて、薄膜材料の多層構造、半導体チップの断面構造などのナノ構造可視化サービスを行っております。
薄膜材料における現象解明や材料設計を容易にするために、透過電子顕微鏡（TEM）を用いた１ｎｍ〜数百ｎｍの大きさのナノ構造の可視化サービスを提供します。 集束イオンビーム（FIB）加工を用いて場所決めを行ってから薄片試料を作製することによって、微小な部位を指定して、デバイス断面をＴＥＭ観察することが可能です。
また、試料に入射させる電子線をスキャンさせる走査型透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）観察モードを用いると、同時に元素分析も実施することができます。
ナノメートルオーダーの多層薄膜の断面構造を可視化できます。試作品の膜厚計測が可能です。
ナノメートルオーダーのLED発光層の構造や、金属電極膜の構造を可視化でき、同時に元素分布のマッピングもできます。
試作品の構造の確認や、試験前後での多層膜間の元素拡散状態の比較などが可能です。
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